解决方案
Window to the Nano World
金属表面可通过光学显微镜或表面粗糙度测试仪进行检查,可快速方便地检测表面条件。然而,这些方法在分辨率和表面灵敏度方面存在局限性。相比之下,SEM 能够观测纳米尺度上的精细微结构,以显著更高的清晰度揭示出详细的表面特征。
由于其高景深,SEM还提供高度立体图像,使其在金属表面的微缺陷、表面损伤和早期故障部位的分析尤为有效。
- 样品制备过程
金属样品通常不需要导电涂层,因为它们具有导电性。然而,EBSD薄型导电涂层仍可能用于提升图像质量并提升EBSD分析性能。为避免遮盖精细表面特征,建议涂覆厚度约为5至10纳米。
步骤1 使用导电胶带将采集的样品安装到样品架上。
步骤2 SPT-20使用SPT-20溅射涂层涂抹导电涂层。
1) 涂层条件:3 μA,300 s
步骤3 将涂层样品加载到SEM中,观察表面形态。
- BSE 探测器
[SE图片]
[BSE图片]
BSE此图像显示了在BSE模式下观察到的合金样本。由于BSE成像利用了基于原子序数对比度的信号强度差异,即使无需额外的元素分析设备,有机颗粒和无机颗粒也能清晰区分。
这使得样品内的颗粒分布和组成差异能够以强烈的对比度进行可视化,从而使BSE成像在材料表征和质量评估方面非常有效。
- 深度3D模式
[BSE图片]
深度3D图像
Deep3D该图像采用深度3D模式获取,不仅能精确分析样本形态,还能精确分析高度和间距等三维信息。
较高区域以红色显示,而较低区域以蓝色显示,可提供直观的表面可视化。此外,下图可对样品特定区域的高度差异进行定量测量。
- 其他图片
[热处理金属]
[热处理金属:BSE图片]
[金属线:BSE图片]
- EBSD的样品制备流程
EBSD精确的EBSD分析需要一个能够生成清晰基库奇图案的优化样品表面。如果表面未充分打磨,就无法获得可靠的EBSD结果,因此将样品制备作为EBSD工作流程中最关键的步骤之一。
步骤1。将样品切成合适的尺寸,并机械抛光表面,以尽量减少高度差异。
步骤2。使用离子抛光器进行精细表面抛光,以实现无损伤的表面。
第三步。将精制样品加载到SEM中,用于EBSD的观测与分析。
- EBSD 图片
- 其他图片
