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当对离子枪施加电压并注入氩气时,会产生等离子体,并通过加速电压将离子束导向样品,从而开始刻蚀工艺。
若将样品置于金属掩模后方,并使离子束对准金属掩模和样品,则金属掩模的屏蔽效应可显著减少束流损伤,从而获得洁净的横截面刻蚀结果。
CP-8000+ 是一款先进的样品制备工具,利用氩离子束对样品进行横截面刻蚀。该工艺可避免物理变形和结构损伤,且无需复杂的化学处理过程。此外,该系统能够处理从数十微米到数毫米的大面积区域,从而简化样品的横截面分析。
通过离子研磨去除样品截面中的氧化层及外来杂质后,可进行 EPMA(电子探针显微分析)成分分析,从而实现更准确的定性与定量分析。
该功能通过根据设定的离子束开启/关闭定时器来间歇性开关离子束,旨在最大程度减少离子束引起的热损伤。在对聚合物、纸张等热敏样品进行刻蚀时,该功能有助于获得准确的横截面状态。