解决方案
Window to the Nano World
传统的元素分析技术(如XRF、XRD和EDS)在分析不均匀的样品或高度变化的表面时可能面临局限性,其中信号收集效率可能降低。复杂的地形和局部的表面不规则性使得对微量元素的精确检测更具挑战性。
BEX探测器通过改进复杂样本几何形状的信号采集,帮助克服这些局限性,实现更可靠、更精确的元素分析,并提升检测性能。
CX-300 配备了一个大样品仓,可容纳笨重的样品,便于广角观测,无需额外切割。其精确的五轴级可实现样品定位和探测器几何形状的简单优化,非常适合在不同样品形状上进行稳定的BEX分析。
- 样品制备过程
在微量元素分析中,建议避免在样品表面添加额外的导电涂层,以确保准确检测。在此分析中,样品将直接安装在样品支架上,且无需任何额外的预处理。
步骤1。使用导电胶带将样品固定在样品架上。
- 电子束尺寸的影响
[SP 12] 输出速率:10620cps
[SP 6] 输出速率:1520cps
下图显示了在SE模式下观察到的表面地形。当斑点尺寸增大时,电子束直径会变大,从而降低图像分辨率和清晰度。相反,减小光斑尺寸会降低光束电流,导致用于EDS分析的X射线信号强度(CPS)降低EDS,并可能降低定量精度。
因此,根据应用情况,选择合适的现货尺寸对于平衡成像质量和分析性能非常重要。
- 背散射探测器
[EDS] 输出速率:10620cps
[BEX] 输出速率:131950cps
BEX探测器提供出色的X射线采集效率,即使在低点大小条件下也能实现稳定的EDS分析。这使得它在高放大成像和微区域分析中非常有效,其中分辨率和信号质量都至关重要。
与安装在腔室侧面的常规EDS探测器不同EDS detectors,BEX探测器位于腔室顶部,可减少由样品高度变化或复杂几何形状引起的信号阴影。这种配置使得在不均匀的样品表面上采集X射线更加均匀,在元素映射过程中尤为明显。
- 背散射探测器
[EDS]
这些优势对于微量元素分析尤为有价值。EDS systems尽管传统的EDS系统可能因阴影区域X射线被阻挡而导致信号微弱,但BEX探测器通过更高的采集效率和更稳定的信号获取,提高了检测可靠性。