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precision analyzer.
Ion Coater SPT-20

选配附件

EM-30AX

Ion Coater SPT-20

Ion Sputter Coater
非导电试样的前处理设备,通过导电薄膜的喷涂,达到提高样品表面导电性的功能。

Description

  이온코터인SPT-20DC 스퍼터링원리를 이용하여 시료 표면에 전도성 물질(Au,Pt,Pd,Pt-Pd)을코팅하는 장치입니다. 비전도체인 시료도 전자현미경에서관찰을 위하여 사용하며, 시료표면을주사된전자빔으로부터보호와 전자흐름을 도와주는 장비입니다. 또한얇은 박막형태의 전극 형성으로도 사용이 가능합니다.

 

 

1. Digital 이온코터
2. 진공. 코팅. 상압까지 원터치 코팅시스템
3. 코팅 Current Feedback기능으로 안정적인 코팅
4. 다양한 금속타겟 사용가능
5. 저소음 로타리펌프 사용



특징

 

특징


Target 
Target SizeAU& PT (Guarantee)
Power50mm
Ionization CurrentAC 110-240V, 50/60Hz, 50W (except rotary pump)
Chamber Size0~9mA
Dimension100mm [Dia]

Optional Products