离子溅射仪
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SPT-20 离子溅射仪
一、产品概述
SPT-20离子溅射仪是COXEM库赛姆专为扫描电镜（SEM）配套打造的紧凑型精密制样设备，凭借高效镀膜、操作极简、性能稳定、高性价比四大核心优势，成为高校实验室、科研院所、工业企业材料检测的通用型基础制样设备。设备采用成熟稳定的离子溅射工艺，主要用于各类非金属、绝缘样品的表面导电化处理，可完全适配台式扫描电镜、钨灯丝扫描电镜的检测需求，有效解决电镜观测中样品荷电、成像模糊、微观形貌失真、样品轻微损伤等常见问题，全方位提升SEM成像清晰度与检测精准度。
相较于传统溅射设备，SPT-20摒弃复杂的专业操作流程，搭载一体化智能控制系统，整机体积小巧、能耗低廉、运行噪音低，无需专业技术人员操作，零基础即可快速完成样品镀膜作业，适配常态化、大批量、多场景的制样工作，广泛适配纳米材料、生物医学、化工涂料、半导体、金属复合材料等多领域样品预处理场景。
二、产品核心优势
全自动智能操作，零学习门槛：配备高清LCD触控显示屏，集成全自动控制系统，支持一键启动完整镀膜流程，设备自动完成抽真空、离子溅射镀膜、泄压复位全流程作业，无需人工反复调试参数、值守操作，大幅提升制样效率，降低人工成本与操作失误率。
均匀致密镀膜，还原样品原貌：内置高精度电流反馈调控系统，实时稳定溅射工作电流，确保样品表面镀膜层轻薄、均匀、致密，既能彻底解决绝缘样品荷电问题，实现优异导电效果，又不会覆盖、掩盖样品原始微观形貌，最大程度保留样品真实结构。
多靶材兼容，通用性极强：支持黄金（Au）、铂（Pt）、铂钯合金（Pt-Pd）等行业主流高纯金属靶材，可根据不同样品材质、检测精度需求灵活切换镀膜材质，全面适配生物样品、陶瓷、玻璃、纤维、矿石、半导体基材等绝大多数绝缘样品的制样需求。
轻量化紧凑型设计，适配多场景：整机结构精简小巧，占地面积小，不占用实验室有限空间，搭配低噪音专用机械泵，运行稳定、能耗低、噪音小，可适配高校教学实验室、科研重点实验室、企业质检车间、临时野外检测等多种使用场景。
低温温和制样，低损伤护样：采用低温温和离子溅射工艺，镀膜过程无高温、无机械挤压、无强力冲击，有效避免样品热损伤、结构变形，特别适配生物软组织、柔性材料、精密纳米薄膜、易破损样品的安全制样处理。
三、核心功能特点
1. 全自动真空控制系统，抽真空速度快，镀膜完成后自动泄压复位，全程无人值守，大幅简化制样流程，提升整体作业效率；
2. 0-9mA精准可调工作电流，可按需控制镀膜厚度，涂层厚度均匀可控，完全适配不同精度的微观形貌检测需求；
3. 超大标准化样品仓，Ø100mm大空间设计，可容纳多种规格样品，支持多组小型样品同步批量镀膜，适配批量制样工作；
4. 兼容性广泛，可适配COXEM全系列扫描电镜设备，同时兼容市面各大品牌台式、立式扫描电镜，设备适配无壁垒。
四、应用场景
SPT-20离子溅射仪适配多行业、多品类样品预处理，广泛应用于高校教学科研、材料科学、生物医学、半导体电子、化工涂料、环境检测、轻工纺织等领域，核心应用场景如下：
- 生物样品制样：可完成植物组织、微生物、细胞、毛发、食品、软组织等各类绝缘生物样品的导电镀膜处理，保障生物样品电镜成像清晰；
- 非金属材料检测：适配陶瓷、玻璃、纸张、纺织纤维、涂料、矿石、高分子材料等无导电特性样品的SEM预处理；
- 半导体电子行业：用于PCB板材、芯片基材、纳米薄膜、电子元器件、绝缘封装材料的微观检测镀膜制样；
- 科研教学实验：满足高校、科研院所常规电镜教学演示、基础材料实验、批量样品预处理等日常科研工作。