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We make a super-
precision analyzer.
EM-30+

扫描电子显微镜

EM-30AX

超高分辨率台式扫描电镜EM-30Plus

EM-30Plus高分辨台式(桌面式)扫描电镜打破了传统台式电镜采用BSD探测器成像的局限性,利用创新的双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像原理,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而可以获得更高的分辨率(小于5nm)是真正意义上的高分辨台式扫描电镜。

Description

1、使用方便、体积小巧、对环境要求低

2、分辨率高,大样品仓

3、自动马达台

4、加速电压范围广

5、可选配附件多:STEM、EDS、Navigation、冷台







 

放大倍数x20 ~ x150,000
加速电压
1kV to 30kV
电子枪钨灯丝
探测器二次电子探测器、背散射探测器
样品台X: 35mm (马达驱动),Y: 35mm (马达驱动)
T: 0 to 45° (马达驱动),R: 360° ,Z: 5 to 50mm(手动)
样品最大范围45mm (H),60mm (Diameter)
图像模式· RED (320x240), TV (640x480), Slow (800x600)
· Photo (1280x960, 2560x1920, 5120x3840)
Frame Rate· RED (MAX. 30 frames/sec)
· TV (MAX. 10 frames/sec)
· Slow (MAX. 2 frames/sec)
真空模式Turbo Molecular Pump (Less than 3min)
自动功能Auto Focus, Contrast, Brightness, Filament, Start
操作系统· Windows7
操作方式键盘/鼠标/操纵杆
特殊功能驾驶模式(通过控制杆操作);
低真空模式(选配);
SE+BSE混合像,分屏同时显示SE像,BSE像;
线轮廓;
CCD样品导航
选配附件低真空模式、冷台
设备尺寸
400 (W) x 600(L) x 550 (H)mm,85kg

Optional Products