We make a super-
precision analyzer.
precision analyzer.
EM-30
EM-30
EM-30高分辨率台式扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性，利用创新的双聚光镜成像技
术， 采用大型扫描电镜成像原理， 使用二次电子探测器作为基础成像单元， 从而可以获得更高的分辨率
（<5nm），是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。
COXEM（库赛姆）EM-30特点:
使用方便、体积小巧、对环境要求低；
◆ 分辨率高，大样品仓；
◆ 自动马达台；
◆ 加速电压范围广；
◆ 可选配附件多：EDS、冷台；
| Magnification | x15~x150,000 |
|---|---|
| Accelerating Voltage | 1kV to 30kV |
| Electron Gun | Tungsten Filament(w) |
| Detector | SE Detector (Optional : BSE, EDS) |
| EM-30 Stage | x: 35mm (Motorized)，Y: 35mm (Motorized) T: O t0 450 (Motorized)，R: 360 ，Z:5 to 50mm |
| Maxium Sample Size | 45mm (H)，60mm (Diameter) |
| Image Mode(pixel) | · RED (320x240), TV (640x480), Slow (800x600) · Photo (1280x960, 2560x1920, 5120x3840) |
| Frame Rate | · RED (MAX. 30 frames/sec) · TV (MAX. 10 frames/sec) · Slow (MAX. 2 frames/sec) |
| Vacuum System | Turbo Molecular Pump (Less than 3min) |
| Auto Functions | Focus，Filament, Contrast, Brightness |
| OS | · Windows7 |
| Operation | Key Board/Mouse |
| Dimension | 400 (W) x 600(L) x 550 (H)mm，95kg |
Optional Products
