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We make a super-
precision analyzer.
EM-30

扫描电子显微镜

EM-30AX

EM-30


EM-30高分辨率台式扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性,利用创新的双聚光镜成像技
术, 采用大型扫描电镜成像原理, 使用二次电子探测器作为基础成像单元, 从而可以获得更高的分辨率
(<5nm),是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。



COXEM(库赛姆)EM-30特点:

使用方便、体积小巧、对环境要求低;
◆ 分辨率高,大样品仓;
◆ 自动马达台;
◆ 加速电压范围广;
◆ 可选配附件多:EDS、冷台;